Bird 8890-300SC13 Terminazione Coassiale RF

Panoramica

Bird 8890-300SC13 è una terminazione coassiale RF refrigerata ad olio da 2.5kW progettata per applicazioni di elaborazione del plasma che richiedono una regolazione e un controllo precisi della potenza RF. Fornisce un componente chiave per garantire una consegna di potenza RF accurata e ripetibile con variazione VSWR minima tra le frequenze critiche del processo, consentendo un funzionamento della camera al plasma affidabile e coerente.

Caratteristiche Principali

• VSWR basso con meno di 0.1 dB di cambio totale alle frequenze critiche del processo
• Design refrigerato ad olio per un funzionamento continuo affidabile alla potenza nominale completa
• Nessun periodo di riscaldamento richiesto per prestazioni coerenti
• Connettore femmina LC per gamma di frequenza di 28 MHz
• Terminazione di potenza RF di precisione per calibrazione e monitoraggio accurati del generatore

Applicazioni

• Camere di elaborazione del plasma che richiedono consegna di potenza RF stabile
• Test del generatore RF, calibrazione e corrispondenza del carico
• Apparecchiature al plasma industriale ed elaborazione dei semiconduttori